学会名:公益社団法人 日本表面真空学会東北・北海道支部 賞の名称:令和4年度日本表面真空学会東北・北海道支部学術講演会 学生講演賞 受賞者:大学院博士前期課程2年 佐藤聖能 受賞日:2023年3月7日 受賞題目:SiC表面の低温減圧下における熱酸化反応