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現在の情報化社会の発達には、半導体集積回路の進歩が欠かせません。当研究室では、光電子分光（PES)、オージェ電子分光（AES)、走査型電子顕微鏡（SEM)、走査型オージェ電子顕微鏡（SAM)、原子間力顕微鏡（AFM)、走査トンネル顕微鏡（STM)などの実験手段を駆使して、半導体表面で生ずる様々な物理化学反応を原子レベルで明らかにしています。これにより集積回路の高集積化・高機能化さらには新素材の開発を目指しています。

	遠田義晴(ENTA Yoshiharu) 　〒036-8561 弘前市文京町３ 　弘前大学大学院 理工学研究科 准教授 　　　　　　　　　　　　　　物理科学科 兼任 　E-mail: enta＠hirosaki-u.ac.jp （＠を全角にしています） 　理工学部１号館１５７号室
	・略歴 　1991年3月同大学院理学研究科物理学専攻博士課程修了 　1991年4月東北大学電気通信研究所助手 　1999年4月弘前大学理工学部電子情報システム工学科助教授 　2006年4月弘前大学理工学部物理科学科（学科再編）

研究紹介 ・シリコン酸化膜熱脱離によるシリコンナノ構造の形成 ・亜酸化窒素ガスによるシリコン酸窒化膜の形成 ・Torr圧力領域のシリコン酸化反応その場観察 ・Si 2p内殻準位光電子分光によるシリコン初期酸化過程 ・リアルタイム光電子分光による半導体表面準位の新解析法 ・シリコンＭＢＥ成長中の光電子分光強度振動 ・真空紫外光電子分光で観た単結晶シリコン表面化学反応 ・弘前大学地域共同研究センターでの研究紹介 真空熱分解法によるシリコンナノ構造形成とその反応機構（ＰＤＦファイル） ・高エネルギー加速器研究機構での活動
実験装置 ・ガス雰囲気対応X線光電子分光（XPS）＆走査型プローブ顕微鏡（STM/AFM） ・X線光電子分光（XPS）＆紫外光電子分光（UPS) ・走査型オージェ電子顕微鏡（SAM&SEM）　at　 弘前大学機器分析センター ・電気炉 ・赤外線加熱装置
発表論文 ・弘前大学　研究者総覧 ・ResearchGate
驚異の光：放射光 理工学部ホームページ の月間ホームページ2002年2月号に掲載したもので、シンクロトロン放射光について、ざっくりと書いたものです。