真空装置の扱い方
＜はじめに＞
このマニュアルは、あくまで、操作手順を紹介しているだけであり、実際に操作手順のみを頭に入れていても、実際の仕組みなどを把握していないと、何かあったときに対処できません。実際の操作の前には、各部に付属のそれぞれのマニュアルを本体と比べながら熟読しましょう。このマニュアルが、その理解の手助けになることを期待しています。
＜機具の操作＞
この超高真空チャンバーでは、真空装置を用いて、１０−10TORR（トール）の真空度を得ることが可能です。操作における手順を間違わないようにして、慎重に操作してください。
それでは、実際に機具の操作の手順を紹介します。各手順の間、操作の途中においても、常時空気漏れが無いか、注意しながら操作しましょう。また、エラーがあった時にはマニュアルなどを見て、迅速に、且つ落ち着いて対処して下さい。
＜主要部の名称＞
