真空状態から大気圧へ
ここでは、真空状態から外気圧に戻す作業をします。この時も前の作業の手順同様、扱う箇所・全体の原理を知ってから
作業に入りましょう。
＜機具の操作＞
① 電離真空計（デュアル真空計）のＰＯＷＥＲをＯＦＦにする
デュアル真空計・１番上のユニット向かって左側にあります
デュアル真空計・・・通常は赤で記しているところしか用いません。
② ＴＭＰ（ターボ分子ポンプ）のSTOPボタンを押す。
上から３番目のユニット・排気操作パネルにあります・・・この時、"OPERATION"の１番上の元から点灯している
「ROTATION」（ロータの定常運転表示灯）に加えて、「BRAKE」（ロータの減速表示灯）が点灯していることを確認する。
また、その後、５分ほどで「ROTATION」と「BRAKE」の両方が消えるので、それを確認します。
TMPコントロールパネル・・・上から３番目のユニット・排気操作パネルにあります。＊"赤"で書い
てあるところがこの段階で主に用いるところです。
③ ＲＰ（ロータリーポンプ）をOFFにする。（注）参照。
（注）： この時、逆の手順でも紹介したように、チャンバー内部の圧力が低いときには、RPの中の油が逆流する恐
れがあり、大変危険です。十分注意しましょう。
RP（ロータリーポンプ）OFFスイッチ・・・上から３番目のユニット・排気操作パネルにあります
＊"赤"で書いてあるところがこの段階で主に用いるところです。
④ リークバルブを開ける。
このとき、緩めるのは少しにしておく（少し開くことによってバルブは開きリークすることが出来ます）。
１度に空気が入ってしまうと装置に負荷をかけるので、あまり１度に緩めすぎないようにしましょう。
リークバルブ・・・チャンバーの側面にあります
真空状態にするには（マニュアル）