大気圧へ(クイック)

真空状態→大気圧への手順(手順のみ)

 

  電離真空計(デュアル真空計)のPOWERをOFFにする

    圧力を上げることによって、
フィラメントを傷つけないため

  TMP(ターボ分子ポンプ)のSTOPボタンを押す

   次の手順に行く前に「
BRAKE」と「ROTATION」が消えるのを確認する

  RP(ロータリーポンプ)をOFFにする。

   
ポンプ内の油の逆流に注意。TMPが止まるのを確認してからにするように。

 リークバルブを開ける。

   バルブを回すときは
大気が注入する音が聞こえればそこまでで良い。それ以上は回さないほうが良い。

 

                

 

 

  大気圧から真空へ

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