真空状態→大気圧への手順(手順のみ)
1 電離真空計(デュアル真空計)のPOWERをOFFにする
圧力を上げることによって、フィラメントを傷つけないため
2
TMP(ターボ分子ポンプ)のSTOPボタンを押す。
次の手順に行く前に「BRAKE」と「ROTATION」が消えるのを確認する。
3
RP(ロータリーポンプ)をOFFにする。
ポンプ内の油の逆流に注意。TMPが止まるのを確認してからにするように。
4
リークバルブを開ける。
バルブを回すときは大気が注入する音が聞こえればそこまでで良い。それ以上は回さないほうが良い。