大気圧→真空状態への手順（手順のみ）

　�@〜�Bまでは、その場を離れないこと。


・はじめに、リークバルブや、開放フランジがちゃんと閉まっているかを確認します。



　�@・・・POWER（入力ON・OFF）スイッチをONにします



　�A・・・RP（ロータリーポンプ）をONにします
　　　　　　圧力差によるポンプ内の油の蒸気による逆流に注意する事
　　　　　サーモカップル真空計が１０〜７Paになるのを確認する


　�B・・・TMP（ターボ分子ポンプ）操作スイッチの「START」を押してONにします。
　　　　　　5分程で、「ACCELERARION」が消えて、「NORMAL」になるのを確認。



　�C・・・電離真空計（デュアル真空計）のPOWERをONにする。
　　　　　　サーモカップル真空計が１Pa以下になっているかを確認。この後、1時間ぐらい待つ。



　�D・・・ベーキングコントローラーの（入力ON / OFF）をONにする
　　　　　　テープヒーターの扱いに注意し、７×１０−８TORR以下位になったらはじめましょう



　�E・・・ベーキングコントローラーをＯＦＦにして、ベーキングをストップする
　　

　　　　真空から大気圧へ戻すには（手順のみ）

　　　　ｂａｃｋ