紫外光電子分光装置

半導体デバイスの高集積化・高微細化を進めるため、シリコン表面における化学反応過程を原子レベルで制御・評価する研究を行っています。

高光度青色・緑色発光ダイオード

青色発光ダイオードや紫色レーザダイオードに使われている窒化ガリウム系半導体の光学特性を研究しています。