高エネルギー加速器研究機構での活動
高エネルギー加速器研究機構での活動
つくば市にある高エネルギー加速器研究機構の放射光実験施設
において、全国共同利用による研究課題申請を行い、以下のような研究活動を行っている。
- シリコン基板上絶縁薄膜の内殻準位化学シフト増大と表面構造の関連
（2015G550,2015年10月〜2017年9月）
- シリコンウェット酸化の初期反応機構
（2012G685,2012年10月〜2014年9月）
- 数ｎｍ領域のシリコン熱酸化反応および熱分解反応
（2010G586,2010年10月〜2012年9月）
- シリコン熱酸化薄膜のひずみ層に由来する内殻準位シフト
（2008G673,2008年10月〜2010年9月）
- シリコン絶縁薄膜の表面深さ方向元素組成に関する研究
（2006G353,2006年10月〜2008年9月）
- シリコン酸窒化膜の反応制御に関する研究
（2003G296,2003年10月〜2005年9月）
- リアルタイム内殻光電子分光によるシリコン酸窒化表面反応の研究
（2001G210,2001年10月〜2003年9月）